1 简介

真(zhen)空泵是(shi)一种旋转式变容(rong)真(zhen)空泵须有前级(ji)泵配(pei)合(he)方可使用在较(jiao)宽(kuan)的(de)压力(li)范围内有较(jiao)大(da)的(de)抽速(su)对被抽除(chu)气体中(zhong)含(han)有灰尘和水蒸汽不敏感广泛用于冶金、化工、食品、电(dian)子镀膜等行业。[1]

2 特点

(1)在较宽的压力范(fan)围内有较大(da)的抽速；

(2)转(zhuan)子具有(you)良好的(de)几何对(dui)称性(xing)，故振动(dong)小，运转(zhuan)平稳(wen)。转(zhuan)子间及转(zhuan)子和壳体间均有(you)间隙，不用(yong)润滑，摩(mo)擦(ca)损失小，可大大降低驱动(dong)功率(lv)，从而可实现(xian)较高转(zhuan)速；

(3)泵(beng)腔内(nei)无需用油密(mi)封和润(run)滑，可减少油蒸(zheng)气(qi)对真空系(xi)统的(de)污染；

(4)泵(beng)腔内无(wu)压缩，无(wu)排气(qi)阀。结构简单、紧凑(cou)，对被抽气(qi)体中(zhong)的(de)灰(hui)尘和水蒸汽不敏感(gan)；

(5)压缩比较(jiao)低，对(dui)氢(qing)气(qi)抽气(qi)效果(guo)差；

(6)转子表面为(wei)形状较为(wei)复杂(za)的曲线柱面，加工(gong)和检(jian)查比(bi)较困难(nan)。

3 结构

（1） 泵总体(ti)结构型式

真空泵的泵体的布置结构(gou)决定(ding)了泵的总体结构(gou)。

立式结构的进、排气口(kou)水平设(she)置，装配和连(lian)接管路都比较方便。但泵(beng)的重心较高(gao)，在高(gao)速运(yun)转时稳(wen)定(ding)性(xing)差，故(gu)这(zhei)种(zhong)型(xing)式多用于小泵(beng)。

卧式(shi)泵的进气(qi)口在(zai)上，排气(qi)口在(zai)下。有时为了真空系统管(guan)道安装连(lian)接(jie)方(fang)便，可将排气(qi)口从水平方(fang)向接(jie)出，即进、排气(qi)方(fang)向是相互垂直的。此时，排气(qi)口可以从左或(huo)右(you)两个方(fang)向开(kai)口，除接(jie)排气(qi)管(guan)道一(yi)端(duan)外，另一(yi)端(duan)堵(du)死或(huo)接(jie)旁通阀(fa)。这种泵结(jie)构(gou)重心低，高速运转时稳定(ding)性好。一(yi)般(ban)大、中型泵多采用此种结(jie)构(gou)。

泵的两个转子轴与水平面(mian)垂直安装(zhuang)。这(zhei)种结构装(zhuang)配间隙容易控制，转子装(zhuang)配方便，泵占地面(mian)积小(xiao)。但泵重(zhong)心较(jiao)高且(qie)齿轮(lun)拆装(zhuang)不(bu)便，润滑(hua)机(ji)构也相对复杂。

（2） 泵的传动方(fang)式(shi)

真空(kong)泵(beng)(beng)的(de)(de)两(liang)个转(zhuan)(zhuan)子(zi)是(shi)通过(guo)(guo)一对高精度齿(chi)轮来实现其(qi)相对同步运转(zhuan)(zhuan)的(de)(de)。主动(dong)(dong)轴(zhou)通过(guo)(guo)联轴(zhou)器与电(dian)(dian)(dian)机(ji)(ji)联接(jie)。在(zai)传动(dong)(dong)结构(gou)布(bu)置上主要(yao)有以(yi)下两(liang)种：其(qi)一是(shi)电(dian)(dian)(dian)动(dong)(dong)机(ji)(ji)与齿(chi)轮放在(zai)转(zhuan)(zhuan)子(zi)的(de)(de)同一侧如图。从(cong)动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)子(zi)由(you)电(dian)(dian)(dian)动(dong)(dong)机(ji)(ji)端齿(chi)轮直接(jie)传过(guo)(guo)去带动(dong)(dong)，这样(yang)主动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)子(zi)轴(zhou)的(de)(de)扭转(zhuan)(zhuan)变(bian)形小，则两(liang)个转(zhuan)(zhuan)子(zi)之间(jian)的(de)(de)间(jian)隙不(bu)会因(yin)主动(dong)(dong)轴(zhou)的(de)(de)扭转(zhuan)(zhuan)变(bian)形大(da)而改变(bian)，故使转(zhuan)(zhuan)子(zi)之间(jian)的(de)(de)间(jian)隙在(zai)运转(zhuan)(zhuan)过(guo)(guo)程中(zhong)均匀。这种传动(dong)(dong)方式的(de)(de)最大(da)缺点是(shi)：a.主动(dong)(dong)轴(zhou)上有三个轴(zhou)承，增加了泵(beng)(beng)的(de)(de)加工(gong)和(he)装配难度，齿(chi)轮的(de)(de)拆(chai)装及(ji)调整也不(bu)便；b.整体结构(gou)不(bu)匀称，泵(beng)(beng)的(de)(de)重(zhong)心偏向电(dian)(dian)(dian)动(dong)(dong)机(ji)(ji)和(he)齿(chi)轮箱一侧。

    极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)”是(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵的一(yi)个(ge)重(zhong)要(yao)参数，是(shi)(shi)(shi)反应泵抽(chou)气能力的特(te)性值，是(shi)(shi)(shi)与真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵相关的一(yi)个(ge)数值，不同(tong)的真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)泵可以有不同(tong)的“极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)”度(du)。而(er)“理(li)论(lun)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)”是(shi)(shi)(shi)理(li)论(lun)研究时(shi)的一(yi)个(ge)概念(nian)，是(shi)(shi)(shi)排除(chu)各(ge)种实(shi)际因素的影响而(er)提炼(lian)出的一(yi)种最(zui)理(li)想(xiang)的真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)容器(qi)经(jing)充分(fen)抽(chou)气后(hou)，稳定在(zai)某(mou)一(yi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)度(du)，此真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)度(du)称(cheng)为极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)。通常(chang)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)容器(qi)须经(jing)12小时(shi)炼(lian)气，再经(jing)12小时(shi)抽(chou)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)，最(zui)后(hou)一(yi)个(ge)小时(shi)每隔10分(fen)钟测(ce)量一(yi)次，取其10次的平均值为极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)值。